[3차원 측정기-SW 및 기타] 클램핑 툴

Eco-fix Kit S/L

• 다양한 클램핑 구성품 조합을 사용하여 3차원 측정기의 측정 테이블에 측정물을 고정할 수 있습니다.

• 베이스 플레이트(S: 250x250mm, L: 500x450mm)와 다양한 클램핑 구성품으로 구성되어 있습니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 고정식 프로브 헤드

PH6M

• 오토 조인트를 추가한 고정식 헤드입니다(TP7M, SP25M 등에 사용).

[3차원 측정기-SW 및 기타] 모터 구동 프로브 헤드

PH10M/10MQ

• 장착된 프로브의 위치를 자동 제어할 수 있습니다(최대 720개 방향).

• 터치 트리거 프로브 뿐 아니라 스캐닝 프로브, 화상 프로브, 레이저 프로브, 유효 나사 깊이 측정용 프로브 등도 탑재할 수 있습니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 소형 터치 트리거 프로브

TP20

• ø13.2mm의 직경으로 좁거나 보이지 않는 측정물 내부의 깊이를 측정할 때 적합합니다.

• CNC 3차원 측정기에 장착하면 스타일러스 자동 교환(옵션)을 지원합니다.

[광학 기기-기타] 비디오 현미경 유닛

VMU

• 가벼운 소형 현미경으로 카메라 관찰용으로 내장할 수 있습니다.

• 다목적 현미경 유닛은 YAG 레이저를 이용한 반도체 웨이퍼 검사 및 리페어용 특수 기계 등에 장착하기 적합한 OEM 제품으로 사용할 수 있습니다.

[광학 기기-기타] 반도체 검사용 현미경 유닛

FS-70

• 접안 관찰부가 장착된 콤팩트 현미경 유닛입니다.

• 다목적 현미경 유닛은 YAG 레이저를 이용한 반도체 웨이퍼 검사 및 리페어용 특수 기계 등에 장착하기 적합한 OEM 제품으로 사용할 수 있습니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 소형/고정도 터치 트리거 프로브

TP200

• ø13.5mm의 직경으로 좁거나 보이지 않는 측정물 내부를 고정도로 측정해야 하는 경우에 적합합니다.

• 스타일러스 자동 교환(옵션)을 지원합니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 고정도 터치 트리거 프로브

TP7M

• 2σ≤0.25μm의 높은 반복 정도 수치를 자랑합니다.

• 길이가 최장 150mm의 롱 스타일러스를 장착할 수 있습니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 3차원 측정기용 센터링 현미경

CF20

• 터치 트리거 프로브와 같은 접촉식 측정을 사용해 측정하기에 매우 까다로운 작은 홀이나 탄성체를 측정할 수 있습니다.

• 3차원 측정기를 대형 현미경으로도 사용할 수 있습니다

[3차원 측정기-SW 및 기타] QUICK VISION 프로브

QVP

• CNC 3차원 측정기용 QV 프로브는 화상 측정의 전 자동화를 실현합니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 비접촉 레이저 프로브

SurfaceMeasure

• 측정물에 레이저를 조사하면서 이동시켜 측정물 표면의 좌표값을 수집하는 레이저 프로브입니다.

• 수지 또는 얇고 탄성이 있는 부품 등 접촉 측정으로 쉽게 변형될 수 있는 소재를 측정할 수 있습니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 조도 측정용 프로브

SURFTEST PROBE

• 3차원 측정기에 장착하면 전자동 CNC 측정 주기로 표면 조도를 측정하고 해석할 수 있습니다.

• 오토 프로브 체인저와 호환되므로 3D 좌표 측정을 위한 다른 타입의 프로브와 자동으로 교체할 수 있습니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 5축 제어 터치 트리거 시스템

PH20

• 독자적인 방식의

• 또한 5축 동시 제어 및 무제한 위치 결정 각도로 측정 시간을 크게 단축할 수 있습니다.

[3차원 측정기-SW 및 기타] 고속 5축 스캐닝 헤드

REVO-2

• 길이가 최장500mm인 스타일러스를 사용한 접촉 측정은 유연성을 높여주며, 5축 동시 제어 및 무단계 분할 측정이 가능합니다.

• 높은 처리량과 동시에 고정도 측정을 제공합니다.

[광학 기기-기타] 백색광 간섭 광학 유닛

WLI-Unit

• 백색광 간섭에 의한 비접촉식 고정도 미세 표면 형상 측정이 가능하여, 3D 형상과 3D 거칠기 등의 비접촉 측정이 가능합니다.

• 광학 배율에 의존하지 않는 높이 측정 정도와 저배율 렌즈에서도 높은 Z 분해능으로 측정이 가능합니다.